第243章 倪光南的汇报(2/3)
“凌总,你具体想怎么做?”
“分两步。”凌云说,“第一步,评估。把产业链上每个环节拆解,分析国内现有的基础和技术水平。哪些有企业可以做?哪些是空白?哪些是关键卡脖子点?”
他重新拿起笔,在白板旁边画了个表格。
环节、国内现状、可扶持企业、需自研突破、优先级。
“第二步,行动。”凌云继续说,“对有企业可以做的,我们投资、扶持、给订单,帮他们技术突破。对空白或者没人做的,我们自己成立团队,从基础研究开始,一步步啃。”
倪光南盯着表格,脑子里快速运转。他是技术专家,对整个产业链的薄弱环节了如指掌。
“硅材料,”他开口,“高纯度多晶硅,国内有厂,但纯度不够,只能做太阳能板。电子级高纯硅,基本依赖进口,日本信越、德国瓦克垄断。”
他在“硅材料”那一行的“国内现状”下面写:“有基础,但低端”。“可扶持企业”写:“洛阳单晶硅厂、峨眉半导体材料厂”。“需自研突破”写:“电子级高纯硅提纯技术”。“优先级”写:“高”。
“晶圆制备,”倪光南继续说,“拉单晶、切片、研磨、抛光,国内有设备,但精度不够。8英寸晶圆刚开始试产,成品率低。12英寸?没戏。”
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他在“晶圆制备”行记录。
“光刻系统,”倪光南叹了口气,“这是最难的。国内最好的光刻机是上海微电子装备在研的0.35微米步进式,还没量产。核心技术——光源(准分子激光)、镜头(高数值孔径物镜)、对准系统、光刻胶——全部依赖进口。”
他在“光刻系统”的“需自研突破”里,一口气写下:光源、镜头、对准、光刻胶、控制系统。优先级:“最高”。
“刻蚀机,国内有中微半导体在做,但主要做介质刻蚀,硅刻蚀还在研发。薄膜沉积设备,北方华创有做PVD,CVD还在攻关。离子注入机,几乎空白。清洗检测设备,有但低端。封装测试,国内有长电科技、华天科技,能做但技术落后国际两代。EDA工具,华大九天在做,但只能做模拟和少数数字后端,前端综合和验证工具没有。”
他一口气说下来,笔在纸上飞快记录。表格渐渐填满。
写完,他看着表格,眉头紧锁。
“几乎……每个环节都要突破。”倪光南说,“而且都是硬骨头。”
“所以才要早布局。”凌云说,“倪老,我有个想法。中心接下来,除了继续做芯片设计,还要增加一个‘产业链研究部’。任务是:”
他竖起手指:
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