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第155章 华科的第一炉(1/3)

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北方。华科精密设备有限公司。

一号装配车间。

巨大的穹顶下,那台被拆解又重新组装的碳化硅外延炉,像一头沉睡的钢铁巨兽,静静地趴在车间中央。

这是改造后的第一次热场空载测试。

没有放入碳化硅粉料,也没有放入籽晶。只是单纯地测试设备在两千度高温下的温度场分布是否均匀。

这是碳化硅长晶最核心、也是最难的一关。

陶安然穿着灰色的工装,头发随意地扎在脑后。

这半个多月来,她和华科的技术团队吃住在车间里。从石墨毡的切割、保温层的阶梯化铺设,到感应线圈的重新绕制,每一个细节她都亲自盯着。

华科的老厂长赵建兴,背着手站在陶安然旁边。他今天没穿那身洗得发白的蓝色工装,而是换了一件干净的灰色夹克。

“陶工。”赵建兴看着那台外延炉,声音有些发紧,“这炉子,能行吗?”

陶安然没有看他。她的目光死死盯着控制台上的温度显示屏。

“赵厂长。参数是死的,设备是活的。”陶安然的声音沙哑,“行不行,烧了才知道。”

“抽真空。通氩气。准备升温。”

真空泵发出低沉的轰鸣声。炉腔内的空气被迅速抽干。

“真空度达标。氩气流量稳定。”陈宇汇报道。

“开始升温。第一阶段,目标温度1000度,升温速率每分钟10度。”陶安然下达指令。

感应加热线圈开始工作。

外延炉的表面温度逐渐升高。车间里的空气变得有些灼热。

赵建兴紧紧盯着屏幕上的温度曲线。

1000度。很顺利地达到了。

“第二阶段。目标温度2000度。升温速率每分钟5度。”陶安然的声音没有一丝波动。

这是最关键的阶段。

在两千度的高温下,热辐射会变得极其复杂。任何一点保温层的微小缺陷,都会导致炉腔内出现巨大的温度梯度。

温度一点点攀升。

1500度。

1800度。

1950度。

赵建兴屏住了呼吸。他的手心里全是汗。

“2000度!到达目标温度!”三个多小时后,助手喊道。

“保温两小时。启动多点温度传感器,监测径向和轴向温度梯度。”陶安然命令道。

屏幕上,十几条代表不同位置温度的彩色曲线,开始在坐标轴上延伸。

时间一分一秒地过去。

车间里安静得可怕。只有外延炉冷却水循环的哗哗声。

“保温结束。开始降温。”陶安然说。

又过了几个小时,炉体温度终于降到了安全范围。

“导出测试数据。生成温度场分布云图。”陶安然走到控制台前。

一张彩色的温度场分布云图,出现在屏幕上。

赵建兴凑了过去。

他死死盯着那张云图。

在碳化硅晶体生长的核心区域,颜色呈现出极其均匀的暖红色。没有刺眼的亮斑(局部过热),也没有暗淡的冷区(局部过冷)。

赵建兴颤抖着手,指着屏幕右下角的数据统计栏。

“径向温度梯度……正负0.3度?”

赵建兴的声音劈了。他猛地转过头,看着陶安然,满脸的不可置信。

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